盛美上海(688082) - 投资者关系活动记录表（2024年1月26日）

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 投资者关系活动记录表 编号：2024-01 投资者关系 □特定对象调研 √分析师会议 活动类别 □媒体采访 □业绩说明会 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 □其他 会议时间 2024年1月26日 会议地点 电话会议 上市公司 董事长：HUI WANG 接待人员姓名 总经理：王坚 财务负责人：LISA YI LU FENG 董事会秘书：罗明珠 投资者关系活动 公司领导对公司2024年度向特定对象发行A股股票 主要内容介绍 预案进行了简单介绍，并就投资者关心的问题进行了回 答。  问答环节 1、公司“研发和工艺测试平台项目”建设主要是针 对Track的吗？ 答：公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设 备、PECVD、Track等产品，公司希望进行组合性、连贯 性的测试。首先对硅片进行清洗，再通过炉管及 PECVD 完成镀膜，而后通过Track与光刻机的对接，完成涂胶、 曝光、显影，然后进入实验线的刻蚀设备进行干法刻蚀， 再进行去胶清洗。公司还配备SP7颗粒检测器及其他量测 设备对各个工艺步骤进行检测验证。该项目目的就是可以 在 ...